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Etude fondamentale et adaptation à la pulvérisation cathodique d'un réacteur à plasma radiofréquence

MOHAMED SALEM, Ould Mohamed (1997) Etude fondamentale et adaptation à la pulvérisation cathodique d'un réacteur à plasma radiofréquence. PhD thesis, UPPA.

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Item Type: Thesis (PhD)
Subjects: Physics > Physics > Física de plasmas (ver 2208.09)
Divisions: Université de Pau et des Pays de l'Adour (UPPA) > UFR des Sciences et Techniques de la Côte basque > Physique
Contributors:
ContributionNameEmail
DirectorFrancis Loiseau,
Date Deposited: 24 May 2010 16:51
Last Modified: 24 May 2010 17:00
URI: http://edtb.euskomedia.org/id/eprint/36

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